操控過程中，由測厚探頭檢測到薄膜厚薄信號傳送到計算機，計算機把厚薄信號與當(dāng)時設(shè)定均勻厚度進行比照，根據(jù)厚薄誤差量以及曲線改動趨勢進行運算，操控電機驅(qū)動閥門移動，當(dāng)薄膜偏厚時，電機正向移動，風(fēng)口關(guān)?。幌喾矗姍C反向移動，風(fēng)口增大，經(jīng)過改動風(fēng)環(huán)圓周上…